Tytuł:
Pressure influence of some residual gases on the sputtering rate of Si
Autor:
Sowa, Marek (1944- ). ; Meldizon, Jerzy (1927- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981). ; Mazurek, Adam (chemik).
Temat i słowa kluczowe:
Opis:
Tytuł nagłówkowy. ; Bibliografia na stronie 47. ; Streszczenie w języku polskim, rosyjskim. ; artykul w: Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 34/35, 6 (1979/1980), strony 41-48 ; tytul rownolegly: Wpływ ciśnienia resztkowych gazów na szybkość rozpylania krzemu ; tytul rownolegly: Vliânie davleniâ ostatočnyh gazov na skorostʹ raspyleniâ kremniâ
Wydawca:
Miejsce wydania:
Współtwórca:
Meldizon, Jerzy (1927- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981). ; Mazurek, Adam (chemik).
Data wydania:
Typ zasobu:
Format:
Źródło:
Zasoby Biblioteki Głównej UMCS
Język:
Powiązania:
Prawa:
Źródło finansowania :
Dofinansowano z programu "Społeczna odpowiedzialność nauki" Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego