Title:

Zależność szybkości rozpylania jonowego Si, poli-Si i SiO2 od temperatury

Creator:

Sielanko, Juliusz (1938- ). ; Sowa, Marek (1944- ). ; Meldizon, Jerzy (1927- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981). ; Skrzypiec, Anna (fizyka).

Subject:

fizyka

Description:

Tytuł nagłówkowy. ; We wzorze ditlenku krzemu liczba 2 w indeksie dolnym. ; Bibliografia na stronach 90-91. ; Streszczenie w języku angielskim, rosyjskim. ; artykul w: Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 33, 9 (1978), strony 87-91 ; tytul rownolegly: Zavisimostʹ skorosti raspyleniâ polikristallov Si, SiO2 i monokristalličeskogo Si ot temperatury ; tytul rownolegly: Temperature dependence of sputtering velocity of polycryetal Si and SiO2 as well as single crystal Si

Publisher:

UMCS

Place of publication:

Lublin

Contributor:

Sowa, Marek (1944- ). ; Meldizon, Jerzy (1927- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981). ; Skrzypiec, Anna (fizyka).

Date:

1978

Type:

artykuł

Format:

application/pdf

Source:

Zasoby Biblioteki Głównej UMCS

Language:

pol

Relation:

Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 33, 9 (1978), strony 87-91

Rights:

domena publiczna

Source of sponsorship :

Dofinansowano z programu "Społeczna odpowiedzialność nauki" Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego