Title:
Diffusion phosphorus and arsenic ions implanted into mono- and polycristalline-Si
Creator:
Youssef, Abdallah A. ; Sowa, Marek (1944- ). ; Sielanko, Juliusz (1938- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981).
Subject:
Description:
Tytuł nagłówkowy. ; Bibliografia na stronie 60. ; Streszczenie w języku polskim, rosyjskim. ; artykul w: Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 36/37,4 (1981/1982), strony 51-61 ; tytul rownolegly: Dyfuzja jonów fosforu i arsenu implantowanych do mono- i polikrystalicznego krzemu ; tytul rownolegly: Diffuziâ ionov P i As implantirovannyh v mono- i polikristalličeskij kremnij
Publisher:
Place of publication:
Contributor:
Sowa, Marek (1944- ). ; Sielanko, Juliusz (1938- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981).
Date:
Type:
Format:
Source:
Zasoby Biblioteki Głównej UMCS
Language:
Relation:
Rights:
Source of sponsorship :
Dofinansowano z programu "Społeczna odpowiedzialność nauki" Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego